在 PECVD 過程中，需要精確配比反應氣體，如硅烷（SiH?）、氨氣（NH?）等。氣體質量流量控制器MFC能夠準確測量和控制這些氣體的流量，確保薄膜的厚度、均勻性和光電性能達到理想狀態，從而提高光伏電池的轉換效率和穩定性。
PVD（物理氣相沉積）：PVD 過程中，也需要對各種反應氣體進行精確控制。氣體質量流量控制器可以根據工藝要求，穩定地提供所需的氣體流量，保證沉積薄膜的質量和性能，滿足光伏電池的生產需求。