流量傳感器采用

流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細(xì)管時(shí)產(chǎn)生的溫度場變化 來測量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D(zhuǎn)化為電信號(hào)并經(jīng)過電 路放大、濾波處理，處理后的信號(hào)采集進(jìn)處理器芯片，再通過氣體流量 外標(biāo)法和溫壓補(bǔ)償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實(shí)氣體流量值。氣體實(shí)際流量值與流量 設(shè)定值進(jìn)行比較,  將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過 通道的流量使之與流量設(shè)定值相等，實(shí)現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制。

我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器（以下簡稱 MFC330），

主要用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡便，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進(jìn)一步對氣體流量控制進(jìn)行溫壓補(bǔ)償；支持多種通訊協(xié)議，可以方便高 效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機(jī)等進(jìn)行通訊；具有多氣體測量，高  精度，高穩(wěn)定性，極低零漂等特性。

MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工

業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型 的應(yīng)用場合包括:  電子工藝設(shè)備,  如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子刻

蝕、濺射、離子注入;  以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。