微小型氣體流量控制器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產生的溫度場變化 來測量氣體質量流量，通過電橋將溫度場的變化轉化為電信號并經過電 路放大、濾波處理理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量 外標法和溫壓補償得到準確的真實氣體流量值。氣體實際流量值與流量 設定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調節閥門，閉環控制流過 通道的流量使之與流量設定值相等，實現氣體流量的精準控制
我公司自主研發的 MFC330 氣體質量流量控制器(以下簡稱 MFC330)，
主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優質的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準、穩定和簡便，內置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償；支持多種通訊協議，可以方便高 效的與電腦、PLC、工業觸摸屏、單片機等進行通訊；具有多氣體測量，高精度，高穩定性，極低零漂等特性。
MFC330在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型 的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系 統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
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