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產品簡介
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微小流量氣體質量流量控制器MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。
產品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
主要參數
介質要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%-100% F.S.
準確度 ±0.5% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
傳感器響應時間 <1s
預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
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服務電話：
18168878188
蘇州市吳江區柳胥路99號半導體智能制造創新港
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