愛拓利微流量氣體流量計

產品簡介

愛拓利微流量氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

產品型號：MFC330

更新時間：2026-02-06

廠商性質：生產廠家

訪問量：566

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計

氣密性測漏儀皂膜氣體流量標準裝置流量顯示儀氣體質量流量計氣體質量流量控制器流量控制器

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愛拓利MFC守護汽車零部件品質生命線

淺析新國標高氯COD消解儀中氣體流量控制（MFC）的技術要求

愛拓利MFC：椰殼碳化工藝的精密氣體測控核心

氣體質量流量計能滿足工業生產對流量監測的嚴格要求

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　　愛拓利微流量氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

　　被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

MFC330工作原理

　　產品特點

　　精準質量流量測量/控制

　　快速響應、高重復性

　　不受溫度和壓力的影響

　　工作壓差范圍大：0-1MPa

　　低壓損可選

　　全金屬比例閥可選

　　集成顯示器可選

　　經濟有效的解決方案

　　技術參數主要參數

　　介質要求潔凈干燥氣體

　　氣體種類 98+氣體可選

　　量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

　　0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

　　測量范圍 0.5%F.S.(1:200)

　　控制范圍 1%-100% FS.(1:100)

　　準確度 ±1% F.S.

　　重復精度 ±0.2%F.S.

　　線性度 ±0.2%F.S.

　　控制響應時間 <3 秒

　　預熱時間 5 min(T95)，30 分鐘最佳

　　閥門常閉式

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