氮氣質量流量控制器MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

   產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

    主要參數

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類   98+氣體可選

量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間  <3 秒

預熱時間  5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門 常閉式

     機械特性

最大工作壓力  3 MPa（30bar）

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環境和氣體）

溫度范圍   0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  卡套、VCR、快插、快擰（可選）

氣體接觸材質  氟橡膠、304/316不銹鋼

密封材質  氟橡膠 FKM

防護等級  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.96kg

     電氣和通訊

電氣連接接口類型   DB-9 公頭

模擬信號  0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

輸入輸出阻抗  輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ

模擬數據更新頻率  200Hz

數字信號  Modbus RTU （RS232， RS485）， CAN

通信速率  9600（默認），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（用戶可修改）

電源  15-40 VDC，<200 mA

顯示更新頻率  50Hz

模擬信號精度  ±0.05%F.S.